该线性测量系统主要由激光干涉仪主机、线性反光镜、测试软件组成,可满足5米范围的定位精度测量,重复定位精度测量,设备反向间隙测量等;典型的应用场景为:机床螺距补偿、直线电机的线性位移精度补偿、滚轮齿条传动结构线性精度补偿等。
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