激光干涉仪的工作原理基于光波的干涉。当两束相干光波相遇时，它们会相互叠加，形成相长相消的信号，这可以非常精确地用于测量距离或位移变化。这种高精度的测量能力使激光干涉仪成为高端制造领域中理想的精密测量工具，特别是在校准机床或自动化设备中的光栅尺时。
然而，传统的激光干涉仪通常由分立的光学器件构成,导致其体积庞大且难以模块化。这种设计使得干涉仪对环境干扰特别敏感，因此它们通常只能作为校准工具使用,而无法直接集成到自动化设备中。与此同时，随着工业精密制造技术的发展，对机床和自动化设备的精密控制系统的控制精度要求越来越高，这就迫切需要开发集成度更高的定位工具。
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