MetriLiDAR MM-X 微型激光干涉仪

MetriLiDAR MM-X 微型激光干涉仪

MetriLiDAR MM-X 微型激光干涉仪

挚感光子的MetriLiDAR MM-X 微型激光干涉仪,采用了自主研发的高度集成化的激光传感平台,将干涉仪的参考光路内置于干涉仪中,将光学相干光路等集成在单个光电芯片上,一步实现了激光干涉仪的线型测长、线性校准和定位功能。
产品优势:
• 测量距离:10cm+/-25% • 测量分辨率:0.01nm • 测量精度:10nm(10cm测量距离)without ECU • 测量最大动态移动速度:1.5m/s • 最大采样率:5MHz • 信号稳定性:<1nm • Class I 人眼安全
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产品详情

产品介绍

        基于激光干涉原理,激光干涉仪是公认的高精度、高灵敏度的测量仪器,广泛应用在高端制造领域。挚感(苏州)光子科技有限公司研发的MetriLiDARMM-X系列微型激光干涉仪采用了自主研发的高度集成化的激光传感平台,以工业应用中最重要的线型标定为核心,将干涉仪的参考光路内置于干涉仪中,将光学相干光路等集成在单个光电芯片上,一步实现激光干涉仪的线型测长和标定功能,从而简化了干涉仪系统测试时的复杂程度。



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