MotionView 显微激光测振仪

MotionView 是一款结合激光测振传感器和数字显微镜的一体化测量系统，可广泛使用在微结构的振动特性测量领域中，如显微材料测试、半导体领域测试和微机电测试。

产品优势：

• 影像指示测量位置 • 光学变焦、数字变焦，最大放大倍数450倍 • 1310nm 测量光+ 655nm 红光指示 • 测量光斑大小 <100um • X/Y/Z 三维调节能力 • 振动检测分辨率 ≤1nm • DC~2.5MHz 测量范围 • 支持同步触发测量 • 最大振动量测量能力 20m/s

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产品详情

MotionView 是一款结合激光测振传感器和数字显微镜功能的一体化测量系统，内置数据处理单元和运算单元，没有其它控制主机，通过以太网连接上位机。上位机软件包含振动测试、分析功能和显微镜图像显示标定功能。MotionView 包含X/Y可调节载物台和Z轴聚焦调节能力。MotionView 在测振方面具有优秀的噪声性能，测量底噪小于5pm/√Hz，最大振动量可达20米/秒。MotionView 也具备同步接口，支持外接同步测量。MotionView 显微激光测振仪可广泛使用在微结构的振动特性测量领域，如显微材料测试、半导体领域测试和微机电测试。

单位：mm