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挚感光子正在开发的微型傅里叶光谱仪,又称为薄膜测厚频谱仪,基于红外宽谱干涉技术;所有干涉光路集成在一颗光学芯片上,具有极高的稳定性和测量精度。可用于测量不同材质物体厚度,包括玻璃、塑料和硅片;期待为新能源领域的电池薄膜厚度测试、半导体领域的制程过程的膜层测量等提供解决方案。
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