MFMS 多通道光纤测量传感系统（D10xN通道，可扩展）

基于集成光学与FMCW调频连续波相干测距技术，挚感光子推出高度集成化的 MFMS 多通道光纤测量传感系统。此设备为光纤激光干涉仪，采用 Mach–Zehnder（马赫-曾德尔）干涉测量架构，实现多源光纤干涉，可支持最高 200 通道全通道同步并行测距，直接对标德国 ETALON LineCAL 及多通道机床校准系统，核心优势：通道容量更大、测量量程长短兼顾、采样带宽更高、兼容国产全系列数控系统。

系统主机可集中或分布式布置，通过工业网络远程控制；测量激光由光纤传输，标配光纤臂长 3 m，更长布线可定制。单通道搭配聚焦式高反镜时，适用测量行程 3 米及以内，更远行程可定制支持。

图示为 20 通道产品，由两个主机组成。系统单台标准主机集成 10 个测量通道，5 列插槽，每列集成双通道光纤传感插板；多台主机并联即可实现 10×N 通道灵活扩容，最多 20 台并联，总同步测量通道上限 200 路。每台主机内置环境传感器，自动修正温、压、湿带来的长度测量误差，满足精密计量等级要求。

系统测量不确定度 U (k=2) = 0.5 μm/m，位移测量精度 < 1 ppm，测量分辨率 1 nm。系统支持 5MHz 全通道同步并行采样，无通道切换延时，可精准捕捉高速度运动、瞬态冲击、高频振动等动态信号，高速工况动态测量优势突出。

在机床生产车间，该系统可 24 小时全自动监测量产机床精度状态，出现偏差时可联动数控系统完成误差补偿。对 1 米行程内超精密三轴加工中心、微型 CNC、光学精雕机、慢走丝、微型三坐标与精密 3D 打印、运动平台等，该系统可提供全自动空间校准解决方案，一次装夹即可完成整机 21 项几何误差全自动辨识，自动生成主流数控系统体积补偿文件。

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挚感光子_MFMS D10 D20 多通道光纤测量传感系统（D10xN 通道，可扩展）_20260907.pdf 800 KB · PDF

产品特性

光电一体化集成 DPU 处理主机，集成激光发射、信号处理、供电、多协议通讯全功能，供电兼容 12–24V 直流宽压；
主机内置环境传感器，具备温度、气压及湿度补偿功能；
测量不确定度 U (k=2) = 0.5 μm/m；位移测量精度 ≤ 1ppm，位移分辨率 1 nm；测量量程 ≤ 3 m，可定制长程测量；
前端无源光纤探头，无电子器件，抗电磁干扰，适配电机、变频器密集工业车间；
配套多类聚焦式全反镜可选，适配不同空间和工况；
全通道硬件同步采样，最大 5M 采样率，无通道切换延时，可捕捉高速振动、微小动态形变；
测量激光波长：1310 nm，Class 1 人眼安全激光等级，整机激光器连续工作寿命 > 86400 小时；
光纤臂长度标配 3 m，更长距离可定制，测点可远离主机；
模块化 10 通道主机，可并联扩展 10×N 通道，最大 200 路同步通道，配置灵活；
主机体积小巧轻量化，尺寸 255×253×139 mm，单台重量仅 5290 g，便于现场部署运输。

配套硬件组件说明

光纤传感测量探头（FOP）

主机每个测量通道配套独立微型 FOP 光纤传感测量探头，前端无任何电子元件，彻底规避电磁干扰影响。光纤探头与主机激光模组采用快插式对接结构，光纤外护套增设防弯折保护结构，适配机床长期往复运动工况。

光纤传感测量探头 FOP

聚焦式高反镜

提供三款标准化产品可选，适配不同安装空间、行程工况：FM01 微型螺纹款，FM02 底座固定式，FM03 法兰固定式。

聚焦式高反镜 FM01/02/03

核心对标 ETALON LineCAL / Absolute Multiline 差异化亮点

比较项	ETALON LineCAL & Absolute Multiline	挚感 MFMS
单通道测量量程	最大 3 m & 最大 30 m	标准 ≤ 3 m，最大 50 m。可按需定制长量程
测量精度	U (k=2) = 0.1 μm + 0.3 μm/m & U (k=2) = 0.5 μm/m	U (k=2) = 0.5 μm/m
测量分辨率	0.001 μm	1 nm，有效动态分辨率
误差辨识参数	三轴全套 21 项几何误差	三轴全套 21 项几何误差，校准覆盖范围一致
最大测量通道数	最多 124 路	最多 200 路；多工位并行检测能力更强
可检测动态信号最高频率	最高 500KHz	2500KHz（提升 5 倍带宽）高速运动、瞬态振动、冲击形变动态信号捕捉能力优势显著
校准时长	约 40 分钟	≤ 40 分钟；三轴空间误差校准效率与进口设备持平
系统适配	主流进口数控系统	进口+国产数控系统全适配，兼容西门子、华中、广数、新代等
体积	整机体积庞大	单台 10 通道主机机身小巧轻量化，机柜部署更友好，支持多主机分布式部署
采购成本	进口设备定价高昂	国产自研，综合性价比优势显著
交期与售后	进口交货周期长，售后响应滞后	国内生产交付周期短，本地技术团队快速现场支持

应用领域

超高精密直线 / 旋转轴运动轴系测量校准、机床 21 项空间几何误差标定；
工业机器人长期几何精度校验、量产机床 24h 在线精度监控，偏差联动数控系统自动误差补偿；
微型三坐标测量机、慢走丝设备、精密运动平台、光学计量平台几何误差检测；
高校、科研院所 20~200 通道同步力学形变、振动并行试验等。

性能参数

参数项	技术指标	补充说明
光学和计量测量
单通道测量量程	标准 ≤ 3 m，最大 50 m	配聚焦式高反镜，数值为光纤头端面至反射镜工作距离；可按需定制长量程。
测量扩展不确定度	U (k=2) = 0.5 μm/m	计量校准标准指标
位移测量精度	≤ 1 ppm	常温标准环境下指标
位移分辨率	1 nm	细分后最小读数
全通道同步采集频率	5 MHz	全部通道并行同步采集，无分时切换
系统信号传输响应周期	≤ 50 ms	整机数据上传延迟
测量激光波长	1310 nm 单模光纤波段	工业通信级低损耗波段
单通道激光输出功率	10 mW	多通道总功率 = 10 mW × 通道数
测量激光安全等级	CLASS 1	符合 IEC 60825-1 人眼安全标准
通道扩容规格
单台主机标准通道数	10 通道	每台主机内置 5 组双通道 DFS 插板
系统最大同步通道数	200 路	最多 20 台 10 通道主机堆叠并联扩容
标准光纤臂长度	3 m	支持定制加长
电气通讯接口
主机后端外部接口①	4 芯工业圆形航空插头	内置环境传感器信号传输线路
主机后端外部接口②	12V DC 电源接口	整机供电输入，兼容 12–24V 宽压
主机后端外部接口③	USB Type-B	上位机软件配置、数据本地导出
主机后端外部接口④	DB37 编码器接口，两个	兼容 TTL / 1VPP / BISS-C / SSI 主流编码器增量 / 绝对信号输出
单台主机功耗	60 W	10 通道满载工况功耗
机械和环境参数
10 通道主机外形尺寸	255 × 253 × 139 mm	长 × 宽 × 高
10 通道主机整机质量	5290 g	满载情况，不含线缆、探头、反射镜配件
整机工作温度范围	0℃ ~ 50℃	推荐设备横向放置，优化散热效率