激光多普勒测振技术（图1）利用了多普勒效应的频移和相移特性。当相干激光光束测量振动的物体时，激光的频率或相位会发生调制，产生激光多普勒效应，表现为激光频偏和相偏。

图1 激光多普勒测振仪技术

通过激光干涉技术，将指向物体并反射（镜面反射或漫反射）回来的激光光束同参考激光光束干涉，最终在光电探测器得到多普勒频偏和相偏信号，进而通过解调方法获得振动物体物理参数。

而集成光学（图2）是光学和微电子的结合，它利用微电子工艺和光学技术来制造光学器件和系统。集成光学在激光多普勒测振技术中应用，可以提高激光测振装置的稳定性和测量精度，同时也可以提高处理速度和实时性。

图2 集成光学

在激光多普勒测振技术中，集成光学元件可以用于制造干涉仪，光束分离器，光束合成器等关键部件，从而提高了整个系统的稳定性和精度。此外集成光学还可以利用光纤技术来实现远程测量和实时监测。

我司研发的激光多普勒测振仪（图3）主要具有微型化、集成化、高性价比、高精度等特点。其核心技术为光子集成芯片的应用、一体化模组封装技术以及先进的调制解调算法等。以挚感光子新一代微型激光多普勒测振仪为例，其设计原理基于零差式鉴相原理，并应用自主设计的光子集成芯片（受专利保护）可以同时得到多达8路的光信号、4路测量信号、和4路参考信号用于后续算法降噪，并通过fpga实现信号实时降噪解调处理。该方法也是行业目前发展的前沿技术，未来越来越多先进工业测量产品将会采用类似的设计方式。

图3 挚感光子激光多普勒测振仪