图1  挚感光子激光测振仪

图2 挚感光子激光测振仪构成

（1）连续测量模式

连续测量模式是一种最简单的振动测量模式，对处于独立运行且稳定工作状态的物体进行振动检测，比如平稳运行的电机，就可以采用连续测量模式来提取其振动特性。如图3所示，对一个正常运转的电机进行振动状态的测量就是一个典型的连续测量模式下的测试。在此模式，只需将与电脑连接好的激光测振仪对准被测物体，调好收光，就可以通过测量软件记录其一定时间段内的振动状况数据并做必要的振动状况分析。

图3  连续测量模式

（2）周期性扫描模式

图4 周期性扫描模式

（3）非周期性触发测试模式

非周期性触发测试模式通常用于标定一些开关器件的瞬态特性或用于快速冲击实验的实时测量。如图5所示的一个MEMS开关的瞬态位移测试案例，为了准确掌握被测物的瞬态特性与激发信号之间的时间关系，就必须将激光测振仪的振动记录信号与信号发生器的激发信号通过同步触发信号在时间轴上严格对应起来。通过接入由信号来的触发信号，激光测振仪将同时记录振动信号和触发信号，作为后期数据分析的参考。更复杂的测试装置还可以包括一个数字示波器，将MEMS的驱动信号与触发信号也一并记录下来，以分析驱动信号在不同时间点上对MEMS瞬态特性的影响。

冲击实验与瞬态测量类似，但通常只有一个触发信号作为冲击实验开始的时间标志。

总之，挚感光子研发的激光振动传感器通过领先的集成光学技术和信号处理技术，不但有凸显的体积和成本优势，而且在功能上也与传统的大型激光测振仪持平，同时可以支持各种测振模式，是一款高性能便携式测试工具。

挚感光子介绍

挚感光子是一家由海归芯片专家团队创建的高精密传感器公司，从芯片设计到模组封装到传感器模块的制程拥有完整的自主知识产权，致力于以光电集成芯片技术为智能工业制造提供终极解决方案。在具体的产品实现上，挚感光子将光学相干检测光路、测距光路集成在单个芯片上，并通过一体化封装，将光学芯片、激光器、探测器以及探测用的光学镜头集成到一个略等于半个火柴盒大小的模组里。这一设计不但可以近百倍减小其体积，同时使得激光振动传感器的大规模量产成为可能，降低制造成本的同时为激光振动传感器的广泛应用奠定了基础。