行业前沿技术简介

纳米级长距离精度定位是现代微电子产业的重要支柱技术。这种技术能够在极小的尺度上实现高精度的空间定位，满足微电子制造中对极高精度和复杂操作的严格要求。尤其是在集成电路和半导体的制造过程中，纳米级定位技术成为确保工艺精度和提高生产效率的关键。随着芯片工艺不断向更小线宽、更高密度方向发展，这一技术的重要性愈发突出。

纳米级精度定位广泛应用于微电子产业中的各种前道和后道工艺设备。例如，在晶圆制造的前道工艺中，刻蚀设备、薄膜沉积设备和离子注入设备需要高度精确的定位，以确保各工艺步骤能够在晶圆的正确位置进行。而在后道工艺中，测试设备和封装设备同样依赖高精度定位技术，以保证芯片测试的准确性和封装的精密性。此外，在光刻机中，纳米级定位技术尤为关键。光刻作为集成电路制造的核心环节，其图案转移精度直接决定了芯片性能和良率。通过精确控制光刻机内部光学组件和晶圆的相对位置，纳米级定位技术为半导体工艺提供了必要的保障。

优于国际知名品牌定位精度

<1纳米级的稳定测量能力

挚感光子开发的干涉式激光尺正在性能方面不断突破，努力实现超越世界一流水平的目标。目前，挚感光子通过一系列技术创新，显著提升了干涉式激光尺的关键性能指标，使得测量精度突破传统光学干涉仪的限制，可以达到亚纳米级的测量能力。同时公司研发了环境噪声补偿技术，有效降低了温度变化、振动以及空气流动对测量精度的影响，从而实现了更加稳定和可靠的测量结果。

出色表现与未来展望