显微激光测振微点扫描，实现 MEMS 结构模态参数辨识
MEMS 器件的动态特性决定其性能与可靠性。采用显微激光多普勒测振仪，配合 XY 移动平台对 MEMS 结构进行面外振动的逐点扫描测量（每 10µm 一个测点），通过扫频 FRF 分析与模态分析获取模态固有频率与振型，为 MEMS 设计验证与工艺质控提供关键数据。
同类应用还包括 PCB 板与手机扬声器的振动测试。
●测试目标：MEMS 结构模态分析及参数辨识
●测试设备：显微激光多普勒测振仪
●测点布置：XY 平台每 10µm 一个测点
●分析方法：频响函数（FRF）分析与模态分析
●通过对 MEMS 结构各测点的扫频 FRF 分析，获得模态固有频率与振型等模态参数。
显微测量：显微激光测振仪适配 MEMS 尺度；
微点定位：XY 平台每 10µm 一测点，逐点扫描；
模态参数：扫频 FRF 获取固有频率与振型；
非接触：不加载 MEMS 微结构。
扫描二维码
关注挚感微信公众号
网站首页
挚感产品
新闻资讯
电话咨询